- Газовые сенсоры на основе полупроводниковых оксидов появились в середине двадцатого века. Принцип работы таких приборов достаточно прост — при адсорбции частиц исследуемого газа на пленку чувствительного элемента происходит их переход в заряженное состояние, при этом электрическое сопротивление пленки изменяется, - рассказал руководитель проекта доктора технических наук, профессора кафедры «Нано- и микроэлектроника» Игорь Пронин.
Для оптимизации сенсорных свойств полупроводниковых оксидов в материале создается система пор, где крупные поры будут служить «магистралями» для подвода и отвода исследуемых газов, а мелкие, окружающие нанозерна, задавать высокий сенсорный ответ. Тем самым будет разработана уникальная «наноархитектура» пленки, которая улучшит существующие параметры работы приборов.
Проведение научного исследования запланировано на 2021– 2022 годы.
